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整廠化學供酸系統
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年度
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客戶名稱
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工程內容
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•96
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元太半導體
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-整廠純水系統電腦監控系統
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•98
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尚志半導體
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-整廠化學供酸系統(CDS)整合監控(Turn-Key,
15-unit)
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•98
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達碁TFT廠
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-實驗生產線供酸單元自動化監控系統
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•98
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金屬中心
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-TEM酸洗設備
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•99
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華志半導體廠
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-實驗生產線供酸單元自動化監控系統
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•99
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聯電8E廠
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-整廠化學供酸系統(CDS)整合監控追加工程
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•99
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聯電8E廠
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-2%-NH4OH 加壓站自動化監控系統
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•00
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聯電8E廠
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-化學供酸系統(CDS)之CMP區擴建工程
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•00
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聯電8E廠
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-化學供酸系統(CDS)之追加工程 (Acetone機組)
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•00
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聯電8E廠
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-供酸單元Bar Code自動判別及電腦監控系統
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•00
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廣輝電子
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-整廠化學供酸系統(CDS)整合監控、技術支援
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•00
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達碁TFT廠
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-整廠化學供酸系統(CDS)整合監控、支援施工
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•00
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台灣硝酸工業股份有限公司
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-多種酸液自動稱重分裝監控系統
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•00
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台灣積體電路(股)
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-半導體CDS供酸系統控制箱組之製作、安裝及測試
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•00
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達碁TFT廠
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-半導體CDS供酸機台控制系統改善工程
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•01
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尚達積體電路工業(股)
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-半導體CDS供酸系統及電腦監控系統整合工程(Turn-Key,
7-unit)
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•01
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華邦半導體(股)
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-半導體CDS供酸機台控制系統改善工程
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•02
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尚達積體電路工業(股)
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-半導體CDS-Drain系統之SCADA及PLC系統整合工程
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•04
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中華映管CPT龍潭廠
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-LCD六代廠CDS供酸機台電氣控制系統工程0
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